芯片托盤變形隧道爐參數如下：
內膽尺寸：長3000*寬，330*高 150mm，爐口凈高 50mm，配手動調節門。
外形尺寸（約）：長3000*寬 650*高 2150日mm，地面離輸送面高度1350mm±25mm，進／出料段各留500rnrn。
溫度范圍：室溫＋10～＋250℃可調節。
溫度波動度： 小于等于±l °C。
溫度均勻度：小于等于土3℃（恒溫狀態下， 空載測試）。
升溫速率： 大于等于5-10度／分。
外殼溫度： 溫升不超過環境＋15℃， 接縫處周邊除外。
循環風方式：水平循環運風
電源：二相五線制， 380V, 50HZ
功率： 約14KW
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